Publikationsdetails
| Herausgegeben von |
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
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| Publikationsjahr | 2013 |
| Erfasste Beiträge | Sensor structures generated with combination of SU8 and PCBMEMS (108-112). S. Gassmann, A. Luque, F. Perdigones, J. M. Quero, Lienhard Pagel. |
| Verlag | IEEE |
| DOI | |
| ISBN |
978-1-4799-0223-1
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| URL |