Publikationsdetails

Herausgegeben von
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Publikationsjahr

2013

Erfasste Beiträge

Sensor structures generated with combination of SU8 and PCBMEMS (108-112). S. Gassmann, A. Luque, F. Perdigones, J. M. Quero, Lienhard Pagel.

Verlag

IEEE

DOI
ISBN
978-1-4799-0223-1
URL