Nonlinear Model Order Reduction of a MEMS Actuator by a Trajectory Piecewise-Linear Approximation

Publikationsdetails

Autor_innen	Arwed Schütz, Sönke Maeter, Tamara Bechtold
Publikationsjahr	2023
Erschienen in	MikroSystemTechnik Kongress 2023
Seiten	551-555
Verlag	VDE-Verlag
URL	https://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=10483109