Im Labor für Technische Optik steht ein breites Spektrum an Mikroskopieverfahren zur Verfügung.
Neben Großfeld- und Stereomikroskopen mit verschiedentesten Kontrastverfahren auch Interferenzmikroskope, ein Konfokal-Mikroskop und ein Kraftmikroskop (Atomic Force Mikroscope).

Alle Mikroskope sind mit Kameras ausgestattet, über eine Bildanalysesoftware können die Bilder ausgewertet und bearbeitet werden. Teilweise sind an den Mikroskopen Koordinatentische mit denen die Proben großflächig vermessen werden können.

• Auflicht- und Durchlichtmikroskopie mit verschiedensten Proben
• Vermessen der Proben im µm-Bereich über die Bildeanalyse oder mit Hilfe eines Koordinatentischs
• 3D Oberflächenanalyse und Profilmessungen durch Interferometrie oder Konfokal
• Dünnschicht Mikrostufenmessungen in nm-Bereich